在多晶硅生產(chǎn)過程中，三氯氫硅（SiHCl3）合成、氫還原和四氯化硅（SiCl4）氫化等工序中，副產(chǎn)的尾氣，含有氫氣（H2）、氯化氫（HCl）、二氯氫硅（SiH2Cl2）、三氯氫硅（SiHCl3）和四氯化硅（SiCl4）的尾氣。我公司針對此種尾氣氣源進行實驗研究，開發(fā)了氯硅烷和氯化氫專用吸附劑及配套的吸附分離工藝，可以將尾氣中的氯硅烷、氯化氫以及氫氣進行回收，凈化后尾氣中的氯硅烷含量降低到ppm乃至色譜檢測不出，實現(xiàn)氯硅烷的循環(huán)利用，降低了原料消耗，提高企業(yè)的經(jīng)濟效益。采用該技術后，只需對流程適當調(diào)整，就可將氫氣中的微量組分如CO、CO2、CH4、N2、O2等微量雜質(zhì)脫除，大大提高氫氣品質(zhì)，使多晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定提高。
公司可根據(jù)用戶目前裝置實際情況，可對現(xiàn)有工藝進行局部改進或全新設計，達到理想的凈化回收效果。
該技術具有完全的自主知識產(chǎn)權，效果優(yōu)于進口技術，可為用戶帶來經(jīng)濟效益、環(huán)保效益。
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品特點
1. 工藝流程簡單、運行穩(wěn)定；
2. 吸附劑分離系數(shù)高，氯硅烷回收率高；
3. 撬塊設計，裝置占地小；
4. 氯化物、氫氣純度高、質(zhì)量穩(wěn)定；
5. 比吸收法及低溫法，腐蝕小，投資省；
6. 可以實現(xiàn)全自動運行，遠程監(jiān)控，無人值守；
7. 可根據(jù)用戶實際情況，進行工藝定制設計。
