在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，三氯氫硅（SiHCl3）合成、氫還原和四氯化硅（SiCl4）氫化等工序中，副產(chǎn)的尾氣，含有氫氣（H2）、氯化氫（HCl）、二氯氫硅（SiH2Cl2）、三氯氫硅（SiHCl3）和四氯化硅（SiCl4）的尾氣。我公司針對(duì)此種尾氣氣源進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究，開(kāi)發(fā)了氯硅烷和氯化氫專用吸附劑及配套的吸附分離工藝，可以將尾氣中的氯硅烷、氯化氫以及氫氣進(jìn)行回收，凈化后尾氣中的氯硅烷含量降低到ppm及以下，降低了原料消耗，提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。
采用該技術(shù)后，只需對(duì)流程適當(dāng)調(diào)整，就可將氫氣中的微量組分如CO、CO2、CH4、N2、O2等微量雜質(zhì)脫除，大大提高氫氣品質(zhì)，使多晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定提高。
公司可根據(jù)用戶目前裝置實(shí)際情況，可對(duì)現(xiàn)有工藝進(jìn)行局部改進(jìn)或全新設(shè)計(jì)，達(dá)到理想的凈化回收效果。該技術(shù)具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，效果優(yōu)于進(jìn)口技術(shù)，可為用戶帶來(lái)經(jīng)濟(jì)效益、環(huán)保效益。
